輝光放電質譜儀（Glow Discharge Mass Spectrometer，GD-MS）是一種用于表面分析的儀器，結合了輝光放電技術和質譜技術，能夠提供材料化學組成和深度分析的信息。它在表面分析、材料科學和其他領域中具有廣泛的應用。

工作原理

1. 輝光放電：在輝光放電質譜儀中，使用惰性氣體（如氬氣）在高壓下形成輝光放電。這種放電產生的等離子體可以激發樣品表面原子和分子，將其激發至高能級。

2. 化學成分測量：激發的原子和分子會發射特定的光譜線。這些光譜線提供了關于樣品表面化學組成的信息，可以用于識別元素及其含量。

3. 質譜分析：輝光放電產生的等離子體還可以被導入質譜儀，進而進行質譜分析。在質譜中，離子的質量/電荷比將被測量，以確定化合物和元素的存在及其相對豐度。

應用

1. 材料表面分析：GD-MS可用于分析金屬、玻璃、陶瓷等材料的表面成分，可以檢測包括元素及其同位素在內的微量組分，并提供深度分析信息。

2. 薄膜和涂層分析：通過GD-MS，可以對薄膜、涂層和多層材料進行組分分析，有助于了解它們的結構和組成。

3. 材料研究：用于了解材料的成分、制備過程和性能相關的化學信息。

4. 環境科學：GD-MS也可用于環境樣品的分析，如土壤或沉積物中的元素分析等。

總的來說，輝光放電質譜儀通過結合輝光放電和質譜技術，提供了表面化學組成和深度分析的強大能力，因此在多個領域都具有重要應用。