5月9日,由四川省科技廳推薦,四川云盾光電科技有限公司牽頭,并聯合四川大學共同承擔的國家重點研發計劃“智能傳感器”重點專項“基于氮化鋁鈧壓電諧振式MEMS微振鏡的小型化環境感知傳感器開發”項目在成都雙流正式啟動,并成功召開實施方案論證會。
會議邀請了華中科技大學段國韜教授、蘇州大學孫旭輝教授、電子科技大學陳懷新教授、電子科技大學李沫教授、中國科學院光電技術研究所嚴偉研究員、中國測試技術研究院湯江文正高級工程師等9名專家進行論證指導。
項目針對激光雷達精度偏低、垂直視野小、組件多、尺寸大難以滿足機器人工業安全領域對系統小型集成化和近距離高精度檢測需求問題,突破單微鏡雙軸大扭轉輸出及結構設計、微鏡元件穩定控制、基于涂層技術的高可靠性微鏡制備等關鍵技術,開發小體積、高頻、大驅動角、低成本微鏡元件,研制小型化振鏡式準固激光雷達系統,在零件拾取、避障、防碰等機器人工業安全領域應用中實現技術驗證。專家組聽取了項目組實施方案匯報,經質詢討論,認為實施方案科學合理,路線具體明確,項目牽頭單位職責明確,各項機制齊全,具有較強的可實施和可操作性,一致建議通過該實施方案。項目的成功實施將推動微鏡核心敏感元件的國產化和工業應用。
云盾光電是位于成都市雙流區西航港經濟開發區的國家高新技術企業、四川省“專精特新”企業,主要為高可靠級應用場景及半導體裝備行業提供關鍵部組件及分系統,包括高精度光電位移傳感器、空心杯伺服電機、集成化高精度光電伺服轉臺及運動控制裝備。2024年獲批成都市中試平臺(MEMS 及微光學器件產業領域),為行業提供微光機電系統集成服務。