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兩種應用于大尺寸測量的雙CCD測徑儀系統(tǒng)的研發(fā)


時間:2018-04-13 編輯:夏禪
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需要測量的被測物不僅有線徑小的被測物,還有一些尺寸非常大的被測物需要對外徑尺寸檢測,現(xiàn)在所使用的在線線徑檢測方法為CCD光學測徑儀,然而常用的CCD的尺寸有限,無法達到大尺寸軋材的線徑檢測,大尺寸的CCD則造價高昂,面臨著采用測徑儀是否劃算的尷尬局面,這時則需要一種新的思路考慮測量方法,為此,采用雙CCD進行大尺寸的檢測。本文主要介紹了兩種雙CCD的線徑測量方式。

1、CCD測量

CCD (Charge Coupled Device)電荷耦合器件是20世紀70年代發(fā)展起來的一種新型半導體大規(guī)模集成光電器件。它在圖像信息的攝取、記錄方面獨具特色,具有體積小、功耗小、成像技術工作穩(wěn)定、分辨率高、靈敏度高、可靠性好、視頻數(shù)據(jù)采用計算機處理柔性好等諸多優(yōu)點。現(xiàn)已被廣泛的應用于測量行業(yè)中的傳感器使用。

CCD尺寸測量技術作為一種非常有效的非接觸檢測方法,被廣泛應用于工件尺寸的在線檢測上。由CCD像傳感器、光學系統(tǒng)、微計算機數(shù)據(jù)采集和處理系統(tǒng)構成的CCD光電尺寸檢測儀器的使用范圍和優(yōu)越性是機械式、光學式、電磁式測量儀都無法比擬的。這與CCD本身的自掃描高分辨高靈敏度結構緊湊像素位置準確的特性密切相關。

2、雙CCD測量原因

在實際測量時,真正有用的數(shù)據(jù)是信號的兩個邊線附近的數(shù)據(jù)。所以用下面方法實現(xiàn)用普通CCD完成測量大尺寸的任務;利用兩片CCD,分別測量出凹口的邊沿,開始測量時用一標準塊對儀器進行校準,得出兩片CCD之間的間距并存儲。測量時,測量的兩個邊沿尺寸加上中間的固定尺寸即可完成檢測。

3、大平行光源雙測頭測量法

大平行光源雙測頭法采用激光光源產生超大型的平行光,在接收部分,采用兩組CCD進行接收測量,在正式測量時,在確定出兩片CCD被遮擋部分的尺寸后,和間距累加起來即得到被測物的尺寸。為適應不同的測量范圍,兩CCD之間的間距可以調整,其中一片CCD位置固定,通過步進電機帶動另一片CCD作上下運動,位置由測量值確定。

4、間距可筒雙鏡筒測頭測量法

2套發(fā)射鏡頭分別發(fā)射出平行光射向2套接收鏡頭,通過接收鏡頭內的透鏡使平行光束在光電轉換元件上成像。當2束平行光內放入被測物時,在光電轉換元件的像上就會出現(xiàn)虛擬的陰影,設其寬度分別為L1、L2。經過對光電轉換元件發(fā)出的電信號的處理和計算可以得出L1、L2所對應的尺寸A1、A2,A1加A2再加上兩個鏡頭之間的凈間距B即可得出被測物的尺寸D。

關鍵詞:測徑儀 CCD測量 半導體    瀏覽量:4254

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