在上海嘉定工業(yè)區(qū)，近5000平方米的高等級(jí)微納加工超凈廠房?jī)?nèi)，上海微技術(shù)工業(yè)研究院（以下簡(jiǎn)稱“工研院”）與國(guó)際領(lǐng)先的晶圓廠密切合作構(gòu)建的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線上，正“跑”著數(shù)十片晶圓。

晶圓加工設(shè)備

9月10日，由工研院建設(shè)的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線正式啟動(dòng)，填補(bǔ)了我國(guó)微機(jī)電系統(tǒng)智能傳感器領(lǐng)域缺乏小批量中間性試驗(yàn)生產(chǎn)線的空白。

8英寸研發(fā)中試線的啟動(dòng)，不僅實(shí)現(xiàn)了從研發(fā)到量產(chǎn)的無(wú)縫銜接，更豐富完整了國(guó)內(nèi)的“超越摩爾”生態(tài)鏈，是對(duì)標(biāo)國(guó)際產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)的關(guān)鍵一環(huán)。

晶圓加工設(shè)備

中國(guó)科協(xié)副主席、中國(guó)科學(xué)院院士王曦解釋說(shuō)，“超越摩爾”指的是不再只遵循摩爾定律，在半導(dǎo)體工藝尺寸上越做越小，而是在成熟的工藝生產(chǎn)線上，研發(fā)非數(shù)字、多元化半導(dǎo)體技術(shù)與產(chǎn)品。“超越摩爾”將不再局限于依靠尺寸改變?nèi)ネ七M(jìn)集成電路制程節(jié)點(diǎn)，更重視材料、工藝、結(jié)構(gòu)等多維度的創(chuàng)新，從而實(shí)現(xiàn)傳感器等其他新興技術(shù)領(lǐng)域“換道超車”。

傳感器，位于整個(gè)物聯(lián)網(wǎng)的基礎(chǔ)層，是數(shù)據(jù)采集的入口，也是物聯(lián)網(wǎng)的基石。然而代工廠不愿接，小批量中試無(wú)處可做，成為我國(guó)傳感器等微機(jī)電系統(tǒng)研發(fā)機(jī)構(gòu)的一大共性難題。8英寸研發(fā)中試線運(yùn)營(yíng)副總裁、廠長(zhǎng)游家杰表示，當(dāng)前我國(guó)約60%的傳感器都是靠進(jìn)口，缺口很大，尤其是微機(jī)電系統(tǒng)智能傳感器，幾乎全部依賴進(jìn)口。

目前，在“超越摩爾”領(lǐng)域，相比于業(yè)界普遍使用的6英寸產(chǎn)線，貫通從研發(fā)到量產(chǎn)全程服務(wù)的上海微技術(shù)工業(yè)研究院8英寸線是公認(rèn)的領(lǐng)先技術(shù)。據(jù)相關(guān)人士透露，整個(gè)生產(chǎn)線建造投入近10億元，目前一期3000平方米已投入使用。

據(jù)悉，8英寸研發(fā)中試線將專注于“超越摩爾”傳感器產(chǎn)品技術(shù)的開(kāi)發(fā)，可以全面開(kāi)展表面、體、3D微納加工以及新工藝、新器件、新系統(tǒng)的研發(fā)，并根據(jù)“超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)特點(diǎn)部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關(guān)工藝和量測(cè)設(shè)備。作為國(guó)內(nèi)第一條先進(jìn)8英寸研發(fā)中試線，不僅可承擔(dān)產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓(xùn)、設(shè)備驗(yàn)證等服務(wù)，有助于提升研發(fā)的成功率，更將助力實(shí)現(xiàn) “超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)從研發(fā)到量產(chǎn)的無(wú)縫銜接。

游家杰介紹，新建成的研發(fā)中試線，目前規(guī)定產(chǎn)能是每月生產(chǎn)3000片左右晶圓，后期將達(dá)到5000片。“我們可以支撐用戶從幾百片到上千片的產(chǎn)能需求，小規(guī)模訂單先在中試線上孵化，一旦前期市場(chǎng)測(cè)試成功，就可以把大批量訂單轉(zhuǎn)移給大型代工廠，開(kāi)始規(guī)模量產(chǎn)。”