圖像測量系統結構

1、CCD傳感器技術

物體三維輪廓測量方法中，有三坐標法、干涉法、穆爾等高線法及相位法等。而非接觸電荷耦合器件CCD是近年來發展很快的一種圖像信息傳感器。它具有自掃描、光電靈敏度高、幾何尺寸精確及敏感單元尺寸小等優點。隨著集成度的不斷提高、結構改善及材料質量的提高，它已日益廣泛地應用于工業非接觸圖像識別測量系統中。

在對物體三維輪廓尺寸進行檢測時，采用軟件或硬件的方法，如解調法、多項式插值函數法及概率統計法等，測量系統分辨率可達微米級。也有將CCD應用于測量半導體材料表面應力的研究。

2、照相技術

全息照相測量技術是60年代發展起來的一種新技術，用此技術可以觀察到被測物體的空間像。激光具有極好的空間相干性和時間相干性，通過光波的干涉把經物體反射或透射后，光束中的振幅與相位信息。

超精密測量技術所代表的測量技術在國防、航天、航空、航海、鐵道、機械、輕工、化工、電子、電力、電信、鋼鐵、石油、礦山、煤炭、地質、勘側等領域有極其廣泛的應用，在國民經濟建設中占有重要的地位。在發展高端裝備制造業的背景下，提高我國在超精密測量方面的科研實力和技術水平，成為不得不解決的迫切問題。