圖5  增益壓縮參數設置

表1 矢量網絡分析儀測試設置及方法

2.2 系統校準

在矢量網絡分析儀上選擇【校準】→[校準…]，并按向導校準完成所有校準。

（1）選擇被測件的連接類型為No Gender，校準件選擇已預編輯好并存矢量網絡分析儀中的“I67_GSG_150_3”，如圖6所示。

圖6  向導校準設置

（2）進行功率校準。功率校準使用功率計對矢量網絡分析儀的源功率進行校準，將功率計的USB接口接到矢量網絡分析儀上，并將其同軸接口與矢量網絡分析儀的1端口相連，連接示意如圖7所示。待從矢量網絡分析儀上識別出功率計后進行校準，設置功率偏移為0dB，容差為0.2dB，最大讀取次數為5，如圖8所示。校準完成如圖9所示，功率校準時間相對較長。

圖7  矢量網絡分析儀與功率計的連接方式

圖8  功率校準配置

圖9  功率校準過程

功率校準通過后，用同軸電纜將兩個探針與矢量網絡分析儀的兩端口連接，并根據校準向導的引導進行雙端口SOLT校準，校準平面為探針端面。校準完成后，矢量網絡分析儀可保存.cst校準文件方便回調。

2.3 增益壓縮測試

校準完成，將校準片從載物臺取下，放上被測放大器芯片，芯片在顯微鏡下如圖10所示。開始對其測試。

圖10  被測放大器芯片

已知該低噪聲放大器芯片增益為24dB。增益壓縮測試可得到芯片的S21（線性增益）、CompGain21、DeltaGain21、CompIn21和CompOut21等參數，這些參數的測量結果分別如圖11所示。矢量網絡分析儀中還支持三維顯示頻率-功率-增益曲線，更直觀地觀察增益壓縮。從測試結果可以看出，放大器的線性增益在24dB以上，1dB壓縮點增益在23dB以上，且曲線形狀吻合；1dB壓縮點輸入功率在-15dBm~-11dBm之間，輸出功率在8dBm~12dBm之間。

（a）二維增益壓縮圖

圖11  被測件S參數測試結果

3、總結

增益壓縮測試系統中掃描方式以及壓縮方法根據實際測試需求決定，3672矢量網絡分析儀提供了多種靈活的選擇，滿足絕大部分用戶需求，并且經過簡單操作后即可得到同種芯片的多種狀態參數，使用方便快捷，可應用于放大器芯片的生產測試環節。（作者：李宇陽 劉森 楊保國 鄭利穎）