前言

浙江省重點實驗室是浙江省科技創(chuàng)新體系的重要組成部分，是支撐國家戰(zhàn)略和打造浙江科技創(chuàng)新、產(chǎn)業(yè)發(fā)展策源地并舉的高能級科創(chuàng)平臺。7月23日，浙江省科技廳公布2023年第二批全省重點實驗室認(rèn)定結(jié)果，由寧波市科研單位牽頭建設(shè)的5家實驗室成功入選。本期讓我們來認(rèn)識，由西北工業(yè)大學(xué)寧波研究院牽頭建設(shè)的浙江省高性能MEMS芯片規(guī)模制造技術(shù)重點實驗室。

浙江省高性能MEMS芯片規(guī)模制造技術(shù)重點實驗室

浙江省高性能MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）芯片規(guī)模制造技術(shù)重點實驗室由西北工業(yè)大學(xué)寧波研究院聯(lián)合寧波博威合金材料股份有限公司、寧波市眼科醫(yī)院共同建設(shè)。實驗室由我國微納學(xué)科奠基者之一、國家級領(lǐng)軍人才、西北工業(yè)大學(xué)教授苑偉政擔(dān)任主任，以國家重大需求為導(dǎo)向，開展具有探索性、前沿性、創(chuàng)新性的技術(shù)研究，持續(xù)攻關(guān)高性能MEMS芯片制造及應(yīng)用服務(wù)難題，為國家航天航空、重大裝備等領(lǐng)域研發(fā)更多高性能傳感器芯片。

實驗室充分發(fā)揮研究團(tuán)隊在MEMS研究領(lǐng)域30余年的技術(shù)積累，面向智能微系統(tǒng)技術(shù)的世界科技發(fā)展前沿，圍繞視覺檢測類光學(xué)芯片、聽覺檢測類聲學(xué)芯片等MEMS高端定制類芯片在規(guī)模化制造過程中的卡脖子技術(shù)難題，聚焦MEMS芯片制造過程中涉及的特種濾光器件制造工藝等“標(biāo)準(zhǔn)化”MEMS工藝方案，解決MEMS芯片共性關(guān)鍵制造技術(shù)難題，顛覆傳統(tǒng)MEMS制造工藝非標(biāo)冗雜的制造模式，突破高性能MEMS芯片制造技術(shù)壁壘。

“傳統(tǒng)的芯片就像是大腦，而MEMS芯片則是五官，這類芯片可實現(xiàn)多項感知功能，是構(gòu)建智能微系統(tǒng)的重要組成，可用于智能制造、醫(yī)療診斷、無人裝備等眾多領(lǐng)域。”研究團(tuán)隊核心成員，西工大寧波研究院智能傳感芯片技術(shù)研究中心責(zé)任教授虞益挺表示，實驗室面向智能微系統(tǒng)技術(shù)的世界科技發(fā)展前沿，打通“需求分析—人才匯聚—技術(shù)研發(fā)—成果轉(zhuǎn)化”路徑，促進(jìn)人才鏈、創(chuàng)新鏈、產(chǎn)業(yè)鏈深度融合，鍛強(qiáng)技術(shù)團(tuán)隊創(chuàng)新研發(fā)硬實力，打造高水平產(chǎn)學(xué)研用科創(chuàng)新平臺。“目前我們已經(jīng)跟寧波市眼科醫(yī)院開展合作，將利用光譜成像技術(shù)為眼科診療設(shè)備裝上自主研制的特種相機(jī)，幫助眼底、眼表疾病的早期篩查。”