該系統由刻蝕反應腔和樣品傳遞腔構成,兩個腔室分別獨立獲得真空和進行檢測。樣品傳遞腔與真空主管道相連接,并具有符合要求的取放樣品及傳遞的功能。刻蝕反應腔中進行反應刻蝕,配置不少于6個氣路,室溫~60℃連續可調的加熱刻蝕載樣臺,溫度均勻性±2℃
200萬
1
1/f噪聲測試系統,矢量網絡分析儀、源擴展模塊
投標人可投報任意包件
318萬
1
X射線衍射儀
本項目不接受聯合體投標
98萬
1
夜視環境與紅外紫外數碼光源系統光源測量與校準系統
關鍵詞:儀器采購 2134萬 中科院 進口儀器 瀏覽量:887
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