研究目標：針對環境監測、食品安全和臨床診斷等行業小分子標志物高準確高靈敏定量檢測需求，突破高效率高穩定離子化、離子傳輸和多級串聯質量分析等關鍵技術，開發具有自主知識產權、質量穩定可靠、核心部件全部國產化的四極桿—離子阱液相色譜質譜聯用儀，開發相關軟件和數據庫。實現復雜基質樣品中目標物質的準確定量分析。開展工程化開發、應用示范和產業化推廣。

考核指標：質量范圍優于20Th-2000Th；質量分辨率于3000；掃描速度≥20000amu/sec；串聯分析級數（MSn）≥3；三級質譜檢測信噪比≥500:1（50fg 利血平樣品），檢測限≤5fg；峰面積重復性≤3%（1pg 利血平連續進樣10 次）；液相色譜最大流速≥2mL/min。產品完成時應通過可靠性測試，平均故障間隔時間≥3000 小時，技術就緒度達到8 級。明確發明專利、標準和軟件著作權等知識產權數量；形成批量生產能力，明確項目驗收時銷售數量和銷售額。

1.3 低溫強磁場綜合物性測量儀

研究目標：針對物理、化學、材料科學等領域對微納器件和新材料電學、磁學、熱學等物性測量的需求，突破免液氦低溫恒溫控制、高穩定度超導強磁場、全自動多物性測量系統集成等關鍵技術，開發具有自主知識產權、質量穩定可靠、核心部件全部國產化的低溫強磁場綜合物性測量儀，開發相關軟件和數據庫，實現對微納器件和材料電學、熱學、磁學物性的綜合測量分析。開展工程化開發、應用示范和產業化推廣。

考核指標：溫度控制系統：1.9K~400K 范圍連續控溫，溫度穩定性≤0.2%（T≤10K）、0.02%（T>10K）；磁場控制系統：磁場強度范圍±14T，磁場中心處5cm 范圍內均勻度達到0.1%；電物性測量：直流電阻測量范圍1×10-8Ω~5×109Ω，測量精度0.1%（R≤200kΩ）、0.2%（R>200kΩ）；熱物性測量：比熱測量靈敏度≤10nJ/K@2K，熱電系數測量精度優于5%，熱導率測量精度優于5%；磁物性測量：直流磁化強度測量靈敏度≤2×10-5emu，交流磁化率測量靈敏度<2×10-8emu@10kHz。項目完成時產品應通過可靠性測試，平均故障間隔時間≥5000 小時，技術就緒度達到8 級。明確發明專利、標準和軟件著作權等知識產權數量；形成批量生產能力，明確項目驗收時銷售數量和銷售額。

1.4 聚焦離子束/電子束雙束顯微鏡

研究目標：針對集成電路芯片設計修正和失效分析、樣品3D重構、透射電鏡樣品制備等微納加工技術需求，突破高分辨率聚焦離子束、高分辨率場發射電子束獲得等核心技術，開發具有自主知識產權、性能穩定可靠、核心部件全部國產化的聚焦離子束/電子束雙束顯微鏡，開發相關軟件，開展工程化開發、應用示范和產業化推廣。

考核指標： 液態鎵離子源聚焦離子束掃描分辨率≤5nm@30kV（雙束重合點），能量≥30kV，束流≥65nA；聚焦電子束分辨率≤1.2nm@1kV（雙束重合點），能量≥30kV，束流≥50nA；最大樣品直徑≥150mm，Z 向高度調節范圍≥40mm；具備聚焦離子束材料刻蝕、沉積和透射電鏡樣品制備、3D 結構重構能力；具備聚焦離子束加工過程中掃描電子束實時觀察能力。項目完成時產品應通過可靠性測試，平均故障間隔時間≥500 小時，技術就緒度達到8 級。明確發明專利、標準和軟件著作權等知識產權數量；形成批量生產能力，明確項目驗收時銷售數量和銷售額。

1.5 高性能流式細胞分選儀

研究目標：針對生物和醫學等行業血液和細胞分析需求，突破單細胞多色熒光高效分光技術、百萬量級細胞數據處理技術、微流控細胞分選技術等關鍵技術，開發具有自主知識產權、質量穩定可靠、核心部件全部國產化的高性能流式細胞分選儀，開發相關軟件和數據庫，實現對細胞、熒光微球等生物顆粒的分析、計數與分選。開展工程化開發、應用示范和產業化推廣。

考核指標：激光器波長數≥4；激發熒光波長數≥30；熒光檢測靈敏度：FITC≤80MESF，PE≤30MESF；細胞檢測和分析速度≥70000 細胞/秒；分選純度≥98%；顆粒檢測大小0.2μm~50μm。項目完成時產品應通過可靠性測試，平均故障間隔時間≥5000 小時，技術就緒度達到8 級。明確發明專利、標準和軟件著作權等知識產權數量；形成批量生產能力，明確項目驗收時銷售數量和銷售額。