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我國超低溫壓力傳感器低溫工作可拓寬到液氫溫度環境


  來源: 儀器儀表商情網 時間:2015-11-11 作者:Stanford
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儀器儀表商情網 科技前沿】集團九院704所研制的超低溫脈動壓力傳感器首次參加飛行任務并獲圓滿成功。這標志著我國航天壓力傳感器的低溫工作溫度已經拓寬到液氫溫度環境。
       當前,壓力傳感器應用非常廣泛,但超低溫壓力傳感器一般只在軍事和科研上使用。尤其是在軍事上,對壓力傳感器的要求非常苛刻。目前軍用低溫壓力傳感器普遍可以在-200℃環境下穩定工作,性能上需拓展。

       為此,中國航天科技集團公司九院704所自2009年起,開始研制超低溫壓力傳感器和超低溫脈動壓力傳感器。
       據資料,該低溫型脈動壓力傳感器屬于電阻應變式壓力傳感器。傳感器采用離子束濺射薄膜技術,在金屬膜片上直接生成電介質隔離膜和功能材料電阻膜(薄膜應變電阻),在電阻膜上制作應變電阻,組成惠斯通電橋。當被測介質的壓力發生變化時,應變電阻阻值也隨之變化,從而使傳感器輸出電壓值發生變化。傳感器金屬膜片上還制備了一個測溫電阻,通過測溫電阻,當傳感器的工作環境溫度發生變化時,測溫電阻阻值也隨之變化,并提供給變換器,通過變換器獲取工作環境溫度。低溫型脈動壓力傳感器系統具有使用測量低溫區寬的特點,傳感器使用溫度范圍為-253℃~ 60℃(液氫溫度);測量范圍:(0~60))MPa。
       研制團隊攻克了多項關鍵設計技術及工藝技術,用4年時間在國內首次解決了液氫溫度壓力傳感器的校準難題。通過多次試車,于日前首次參加飛行任務并獲圓滿成功。該型壓力傳感器用于測量新一代運載火箭發動機入口推進劑輸送管脈動壓力。該產品的首飛成功表明該所航天壓力傳感器的低溫工作溫度已經拓寬到液氫溫度環境,提升了壓力傳感器專業水平。未來將為我國新一代運載火箭的研制作出重要貢獻。

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