科研人員進一步在實驗上實現了這一策略（圖1），經一次模板轉移操作，即可獲得數千計的MEMS基高性能氣敏器件，且器件間差異得到了有效控制，制作重復性好，極大地降低了單個氣敏器件的成本，因此極具實用推廣價值。相關結果近期發表在自然出版社的《科學報告》上（Sci. Rep. 2015, 5, 10507）。固體所相關科研人員為論文的共同第一作者以及共同通訊作者。
     眾所周知，沙林毒氣是一種劇毒神經毒劑，可以通過呼吸道或皮膚黏膜侵入人體，殺傷力極強，其易揮發，靠自然蒸發就可以達到戰斗濃度，一旦散發出來，可以使數公里范圍內的人中毒，甚至死亡。當前，如何快速簡便檢測沙林等神經毒氣是人們亟待解決的問題。基于上述MEMS基高性能氣敏器件，科研人員與解放軍防化學院相關研究組合作，探索了該器件在痕量高毒性生化戰劑（如沙林）檢測方面的應用。科研人員通過對敏感材料表面進行改性，使得沙林氣體在檢測過程中發生了還原-氧化性轉變，如圖2所示。在400攝氏度，沙林表現了本征的還原性氣體特性，而在300攝氏度，其卻展現了反常的氧化性氣體特性。通過比較其他氣體（乙醇、丙酮及沙林模擬機DMMP）響應，只有沙林展現出了這種雙性氣體（Janus gas）特性，成功的實現了對沙林的選擇性檢測，有效區分了沙林和其模擬劑DMMP。

圖2. MEMS基微納米結構多孔薄膜氣敏器件對6ppb沙林在不同溫度下的響應

      該MEMS基器件可檢測到低達6 ppb的沙林毒氣，是目前采用金屬氧化物半導體型氣敏傳感器文獻報道可檢測到的最低濃度。這項工作，為將電阻型薄膜氣體傳感器的應用領域拓展至某些特殊領域提供了近期可實現性。這些特殊領域包括，要求快速響應、高靈敏、低功耗等的領域，如公共安全領域的高毒性氣體的痕量監測及智能傳感網等。相關結果近期發表在英國皇家化學會的《化學通訊》上（Chem. Commun. 2015, 51, 8193-8196）。
     相關工作得到了國家科技部“973”計劃、國家自然科學基金、安徽省杰出青年基金等科研項目的資助。