觀察圖像樣品應(yīng)預(yù)先噴金膜。一般情況下，樣品盡量小塊些 (≤10×10×5 mm 較方便)。粉末樣品每個(gè)需1克左右。納米樣品一般需超聲波分散，并噴涂超細(xì)微金膜。

掃描電子顯微鏡-X射線能譜儀

送檢樣品必須為干燥固體，塊狀、片狀、纖維狀、顆粒或粉末狀均可。應(yīng)有一定的化學(xué)、物理穩(wěn)定性，在真空中及電子束轟擊下不會(huì)揮發(fā)或變形；無(wú)磁性、放射性和腐蝕性。

對(duì)含水份較多的生物軟組織樣品，要求預(yù)先進(jìn)行臨界點(diǎn)干燥前的固定、清洗、脫水及用醋酸（異）戊酯置換等處理。最后進(jìn)行臨界點(diǎn)干燥處理。圖像觀察樣品應(yīng)預(yù)先鍍金膜，成份分析樣品必需鍍碳膜。一般情況下,樣品體積不宜太大（≤5×5×2 mm較適合）。

電子探針

定量分析的樣品必須磨平拋光、清洗干凈。若樣品不能進(jìn)行表面磨平拋光（將影響分析精度）處理應(yīng)事先說(shuō)明。為測(cè)試方便和節(jié)約機(jī)時(shí)，樣品應(yīng)先切成小薄片，不能切割制樣，必須先與測(cè)試人員商量。應(yīng)先標(biāo)記好分析面上的測(cè)試點(diǎn)，無(wú)標(biāo)記測(cè)試位置時(shí)，測(cè)試時(shí)只選有代表性、較平整位置測(cè)試。

液體樣必須先濃縮干燥。分析的樣品必須是在高能電子轟擊下物理和化學(xué)性能穩(wěn)定的固體、不分解、不爆炸、不揮發(fā)、無(wú)放射性、無(wú)磁性。送樣時(shí)最好注明樣品可能包含什么元素。樣品必須噴涂一層碳膜。