傳感器是一個極其特殊的行業,它的產值不算高,2019年我國市場規模約2200億人民幣,但卻有數萬個品類,幾乎遍布所有產業和每個國民經濟的角落。它集機械、光、電于一身,能精確衡量壓力、溫度、濃度、速度等,卻又受制于芯片、材料、電路的發展瓶頸。它的原理透明,但工藝卻非常復雜,是制造業中少見的帶有“手藝”氣息的工業品,技術訣竅深藏在工藝之中。
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我國傳感器行業起步較晚,核心技術缺失,因而以中低端制造為主,隨著近年智能制造、工業物聯網、人工智能等熱火朝天的發展,特別是MEMS技術的發展,半導體傳感器朝著微型、低功耗、高精度方向發展,傳感器行業迎來了第二春。
本文著重介紹壓力傳感器的基礎應用和未來方向。
一、壓力傳感器傳輸原理
壓力是指發生在兩個物體接觸表面的作用力,同時包含不同形態下的作用力,一般可分為氣壓、液壓、固壓三種情況。壓力傳感器通過感受壓力信號,將壓力信號轉換成可用的輸出的電信號器件或裝置,以便輔助機器完成判斷,因而成為IOT感知層技術的基石。
在過去幾十年中,汽車行業一直是推動壓力傳感器需求的主要行業,迄今為止,壓力傳感器已廣泛應用在管道液壓、消防、智能汽車、智慧醫療、航空航天等眾多領域。2020年全球壓力傳感器市場規模已達16.5億美元,合計人民幣104億元,據新思界產研中心報告顯示,壓力傳感器的份額約占20%,僅次于流量傳感器。
二、5大壓力傳感器及應用場景
壓力傳感器有多種分類方式。從工作原理來劃分,壓力傳感可分為壓電式、壓阻式、應變式、電容式等。從使用材料和傳感原理來看,主要有應變式壓力傳感器、陶瓷壓力傳感器、擴散硅壓力傳感器、藍寶石壓力傳感器、壓電壓力傳感器5種。
1、應變片壓力傳感器——高精度 最廣泛
電阻應變片壓力傳感器的核心是電阻應變片,即一個受力會形變的金屬片。當應變片受外力影響時,其長度和截面積都會發生變化,進而改變電阻值。比如當金屬絲受外力作用而伸長時,其長度增加,而截面積減少,電阻值便會增大。
應變式傳感器可以測量應變應力、彎矩、扭矩、加速度、位移等物理量,在不同領域間的應用也最為廣泛。尤其應用在高精度要求的工業稱量系統產品,如平臺秤和料斗稱量系統。
2、陶瓷壓力傳感器——抗磨損 夠穩定
彈性好、抗沖擊、抗磨損、性能穩定……陶瓷是壓力傳感器的理性材料。陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞,而是以陶瓷直接作為感應膜片,讓壓力間接作用于陶瓷膜片背面的厚膜電阻, 連接成一個惠斯通電橋,電阻阻值變化后通過電橋產生一個與壓力、激勵電壓成正比的電壓信號。
相比金屬應變片,陶瓷壓力傳感器最大的特點就是抗腐蝕,在測量腐蝕性介質的壓力時,如在化工、制冷等領域中往往大顯身手。其次,陶瓷壓力傳感器常以分層結構組成,故有較好的抵抗壓力峰值的作用,但相應的靈敏度可能沒有前者表現優秀。
3、擴散硅壓力傳感器——小體型 大信號
其原理是被測介質的壓力直接作用于傳感器的膜片上,使膜片產生與介質壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發生變化,并依靠電子線路檢測到變化,迅速轉換、輸出相應的標準測量信號。
擴散硅壓力傳感器的一個顯著優點是信號輸出大,為后端變送調理線路提供了很大的優勢,加上分辨率高,靈敏度高,其可選的后端電路更多。其次,擴散硅的體積小巧利于安裝,可以廣泛應用在醫療器械中,用于輔助生物監測。
4、藍寶石壓力傳感器——精度準價格高
與第1種應變電阻式工作原理類似,受到傳輸壓力后其接收膜片發生形變,變化被硅-藍寶石敏感元件感知后,其電橋將輸出和壓力呈現正比的變化電信號。