臺階儀（Profiler），又名探針式表面輪廓儀，用于樣品表面從微米到納米尺度的輪廓測量，是微電子、半導體、太陽能、高亮度LED、觸摸屏、醫療、科學研究和材料科學等領域不可缺少的關鍵測量設備。長期以來，此類儀器被美國Bruke、美國KLA、日本Kosaka三家廠商壟斷，國內尚無廠商可提供同類產品。

直到2022年6月，松山湖材料實驗室精密儀器研發團隊自研的臺階儀出貨交付，實現了國產化臺階儀零的突破！

自研的臺階儀

2020年冬，實驗室組織走訪調研半導體行業相關企業，了解到企業進口臺階儀受到一定限制，不少企業明確提出對國產化臺階儀的需求。為了滿足在當前國際競爭形勢下的行業共性需求，避免關鍵設備被“卡脖子”的風險，精密儀器研發團隊當即研討立項，將國產化臺階儀開發提上日程。

團隊負責人許智指出，臺階儀的研發，需要“四個超”：超精細的運動控制，超精密位移傳感，超低噪聲信號采集，超高平整度零部件等關鍵技術。

精密儀器研發團隊在這些方面均有豐富的經驗積累和扎實的技術儲備，基于此前自主研發的系列化壓電驅動納米位移臺產品和掃描探針顯微鏡制備技術，項目組快速完成方案設計，并開始功能樣機、工程樣機的迭代開發。

回望研發過程，可謂“一波三折”，研發團隊感慨道。由于疫情，人員封控，物流暫停，供應商供貨延期，芯片價格又逐日飆升，研發進度受阻。面對接踵而至的難題，團隊加班加點攻關搶進度，終于在今年6月研發成功。訂單交付當天，團隊所有人都有一種難以言表的滿足感。

研發人員工作到深夜，調試樣機

2020年12月 項目內部立項

2021年8月 客戶二次到松山湖現場調研研發進度

2021年5月 客戶到松山湖現場調研研發進度，測試樣品

2022年4月 樣機進產線現場調試

2021年12月 客戶正式下單

2022年6月 正式機臺發貨

精密儀器研發團隊臺階儀項目組

至此，國產化臺階儀邁出了里程碑式的一步?？萍紕撔碌闹匾圆谎远?，用于科技創新的儀器設備同樣重要，團隊負責人許智談到，關鍵測量儀器設備實現國產化，最關鍵之處就在于實現了自主可控。

據了解，現已交付的臺階儀可滿足企業實際使用的指標要求，且對比同類進口設備，成本降低了約30%。項目組研制了三種不同測試需求的型號，可供客戶根據需要選擇相應配置，并配套自研軟件實時顯示測量圖表數據。目前，團隊正在與十余家有相關需求的企業、科研院所洽談合作中。

精密儀器研發團隊

松山湖材料實驗室精密儀器研發團隊以自主知識產權的技術為核心，開展精密科研儀器和工業自動化設備的產業轉化。桌面式掃描電子顯微鏡、大行程納米位移臺等產品為國內唯一量產。等離子體化學氣相沉積系統、掃描隧道顯微鏡系統等產品達到國際一流、國內領先水平。

團隊產業化公司東莞市卓聚科技2020年落戶松山湖國際創新創業社區，銷售額當年破百萬元，2021年銷售額超千萬元。在松山湖材料實驗室的支持下，精密儀器研發團隊以國家戰略為導向，以市場需求為目標，力爭成為有擔當、有作為的尖端儀器產業化隊伍。