8月24日,央視《新聞聯播》報道了松山湖材料實驗室國產臺階儀等產品的情況,該產品已由安徽澤攸科技有限公司(以下簡稱“澤攸科技”)完成產業化并量產出貨,填補了國內在該領域的空白。
據了解,澤攸科技JS系列高精度臺階儀是公司自主研發的國產臺階儀。目前為國內首創技術,突破核心技術-大行程超精密平面掃描-70 mm,優于20 nm/2 mm;大帶寬大行程納米微動臺-80 μm,10 kHz;超微壓力恒定控制,0.5 mN-15 mN,打破了國外壟斷的局面,是半導體國產化進程中不可或缺的一環。
澤攸科技還擁有包括PicoFemto系列原位TEM/SEM測量系統、ZEM系列臺式掃描電鏡、納米位移臺等在類的多個產品線,在國內外均獲得了高度關注。未來,公司將繼續加大研發投入,努力研制出更多世界一流的精密科學儀器,為我國科技進步和經濟發展做出更大貢獻。