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日本研發(fā)四通道納機(jī)械氣體傳感器,幾秒內(nèi)檢測(cè)到工業(yè)氣體泄漏


  來(lái)源: MEMS 時(shí)間:2022-10-10 編輯:清風(fēng)
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據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近期,日本研究人員研發(fā)出一種具有高靈敏的四通道納機(jī)械(nanomechanical)氣體傳感器,可以在幾秒鐘內(nèi)檢測(cè)到工業(yè)氣體泄漏。該傳感器采用多種功能性聚合物來(lái)快速監(jiān)測(cè)痕量的多種目標(biāo)氣體。通過(guò)改變所使用的聚合物,該傳感器還可以很容易地適應(yīng)各種應(yīng)用領(lǐng)域,從食品和飲料生產(chǎn)和化學(xué)工藝中的質(zhì)量控制,到通過(guò)呼吸分析對(duì)多種健康狀況進(jìn)行無(wú)創(chuàng)診斷。


這種多功能氣體傳感器可用于檢測(cè)工業(yè)氣體泄漏


該多功能氣體傳感器是日本三井化學(xué)公司(Mitsui Chemicals)功能聚合物設(shè)計(jì)專家與日本仙臺(tái)東北大學(xué)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)傳感器研發(fā)領(lǐng)導(dǎo)者之間持續(xù)合作的產(chǎn)物。


“我們緊密合作設(shè)計(jì)了一種高度靈敏的氣體傳感器。”日本東北大學(xué)工程研究生院教授Takahito Ono說(shuō)道,“我們的納機(jī)械傳感器與其它氣體傳感器的設(shè)計(jì)完全不同。”


該傳感器的核心是一個(gè)集成四個(gè)硅框架的芯片,該硅框架上具有梳狀的狹縫陣列。不同的功能聚合物嵌入每個(gè)框架的狹縫中。當(dāng)聚合物從空氣中吸收氣體分子時(shí),其會(huì)發(fā)生膨脹效應(yīng),從而在硅框架的一側(cè)產(chǎn)生應(yīng)力。然后,敏感單元又將機(jī)械應(yīng)力轉(zhuǎn)化為電能——產(chǎn)生電流。這種傳感器設(shè)計(jì)可確保大多數(shù)目標(biāo)氣體的可檢測(cè)濃度低于bbp級(jí)別。


四通道聚合物設(shè)計(jì)還允許同時(shí)檢測(cè)多種目標(biāo)氣體。每種聚合物的獨(dú)特溶脹響應(yīng)會(huì)在芯片中產(chǎn)生電信號(hào)的特征模式,該傳感器將其與數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行比較以識(shí)別存在的氣體。


日本三井化學(xué)的科學(xué)家掌握的聚合物專業(yè)知識(shí)是該傳感器實(shí)現(xiàn)高性能的關(guān)鍵。“我們非常了解氣體和聚合物之間的相互作用,因此對(duì)于大多數(shù)目標(biāo)氣體組合,我們只需要四個(gè)通道即可。”三井化學(xué)研發(fā)中心Mai Kurihara Yamazaki解釋道,“我們可以預(yù)測(cè)每種聚合物如何與氣體發(fā)生反應(yīng),因此可以定制傳感器以檢測(cè)不同的目標(biāo)氣體,并確定存在的氣體類型和濃度。”


集成納機(jī)械氣體傳感器的產(chǎn)品原型


Mai Kurihara Yamazaki補(bǔ)充說(shuō),與競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的傳感技術(shù)相比,該傳感器具有幾個(gè)關(guān)鍵優(yōu)勢(shì)。“傳統(tǒng)的氣相色譜法靈敏度高,但檢測(cè)速度相對(duì)較慢,必須由專業(yè)用戶操作,而且檢測(cè)某些目標(biāo)氣體(例如胺和硫化物)可能具有挑戰(zhàn)性。”她繼續(xù)說(shuō)道,“我們的多功能納機(jī)械傳感器可以實(shí)時(shí)工作,不需要訓(xùn)練有素的操作員,并且可以使用我們開(kāi)發(fā)的算法處理高度復(fù)雜的混合物。”


對(duì)于許多應(yīng)用而言至關(guān)重要的是,該氣體傳感器甚至可以在高濕度條件下運(yùn)行。“傳統(tǒng)的半導(dǎo)體傳感器對(duì)水非常敏感。”Mai Kurihara Yamazaki表示,“如果您嘗試在高濕度下使用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體傳感器,可能會(huì)得到不準(zhǔn)確的讀數(shù),并且會(huì)縮短傳感器的使用壽命。”


為了最大限度地減少濕度問(wèn)題,可以選擇該納機(jī)械傳感器中四通道聚合物中的一種來(lái)監(jiān)測(cè)濕度水平,以便傳感器可以自動(dòng)消除濕度波動(dòng)影響。


“我們的合作伙伴正在繼續(xù)提高該傳感器的性能,下一代原型將于2022年底完成。我們團(tuán)隊(duì)的專業(yè)知識(shí)非常互補(bǔ)。”Mai Kurihara Yamazaki說(shuō)道。


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