中試平臺建設(shè)迎來新突破！7月11日，由廣東微納院建設(shè)的“半導(dǎo)體微納加工、半導(dǎo)體材料外延”兩大中試平臺實現(xiàn)產(chǎn)線貫通，吸引12家企業(yè)簽約合作項目，合作高校、院所、企業(yè)代表超180人參加，加速佛山半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向“芯”發(fā)展。

廣東微納院半導(dǎo)體微納加工中試平臺通線。

12個項目簽約

強化企業(yè)集聚效應(yīng)

活動上，“半導(dǎo)體微納加工、半導(dǎo)體材料外延”兩大中試平臺各簽約6個項目，將為半導(dǎo)體企業(yè)提供中試流片、客制化材料外延生長等多個服務(wù)。另外平臺通線后，具備8吋硅晶圓和氮化鎵晶圓加工能力，2-8吋氮化鎵基材料外延生長能力；其中晶圓加工產(chǎn)能為8吋5000片/月，材料外延生長總產(chǎn)能為4吋4000片/月。

半導(dǎo)體微納加工中試平臺項目簽約儀式。

其中，半導(dǎo)體材料外延中試平臺簽約客戶、廣州市鴻利秉一光電科技有限公司，主要生產(chǎn)紫外發(fā)光二極管、半導(dǎo)體激光器等半導(dǎo)體產(chǎn)品，多用于光固化、光醫(yī)療、消菌殺毒等領(lǐng)域。目前，國內(nèi)在半導(dǎo)體激光芯片，尤其是綠光芯片的生產(chǎn)封裝方面遇到了較大的技術(shù)瓶頸，企業(yè)剛好依托平臺提供相應(yīng)的設(shè)備及技術(shù)支持，實現(xiàn)技術(shù)難題突破。

“我們主要看中廣東微納院有很多新型的、先進(jìn)的設(shè)備，可以依托微納院進(jìn)行芯片定制研發(fā)，再由我們進(jìn)行封裝技術(shù)攻關(guān)，一起推動紫外發(fā)光二極管和半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品發(fā)展。”廣州市鴻利秉一光電科技有限公司研發(fā)總監(jiān)任榮斌說道。

而另一家簽約半導(dǎo)體微納加工平臺的企業(yè)——紅與藍(lán)半導(dǎo)體（佛山）有限公司，則看中了省、市、區(qū)各級政府對平臺的大力支持，以及平臺強大的資源背景。

“企業(yè)落戶佛山以來，受到市、區(qū)各級政府的大力支持。而且平臺在中國科學(xué)院蘇州納米所的支持下，組建了一支非常專業(yè)的團隊，無論在設(shè)備維護(hù)、保養(yǎng)、操作、運行等各個方面，都能為企業(yè)進(jìn)行工藝研發(fā)提供了強有力的支撐，吸引我們不斷將資源向佛山傾斜。”紅與藍(lán)半導(dǎo)體（佛山）有限公司董事長楊戰(zhàn)武表示，企業(yè)聚焦寬禁帶化合物半導(dǎo)體材料，尤其是氮化鎵技術(shù)和產(chǎn)品的研發(fā)、制造。而目前平臺所能提供的8吋5000片/月的氮化鎵晶圓加工能力，對企業(yè)來說是一個巨大的福音。

截至目前，廣東微納院累計孵化引進(jìn)各類半導(dǎo)體企業(yè)43家，企業(yè)估值超過30億元，在半導(dǎo)體微納加工和材料外延表征等方面形成顯著的特色和競爭力。

二期建設(shè)封頂

提升平臺服務(wù)容量

活動當(dāng)天，歷時一年半建設(shè)的廣東微納院二期，迎來了封頂儀式。

廣東微納院二期封頂儀式。

依托半導(dǎo)體中試平臺，廣東微納院二期建設(shè)于2023年3月啟動，定位為產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)，建有6萬㎡專業(yè)化半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)載體，其中潔凈廠房3.4萬平方米，預(yù)計2025年一季度設(shè)備安裝進(jìn)場、二季度建成投產(chǎn)，將打造成為華南地區(qū)潔凈面積最大、產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋最全的專業(yè)化技術(shù)驅(qū)動型主題園區(qū)。

廣東微納院副院長王暉介紹中試平臺規(guī)劃與建設(shè)情況。

廣東微納院副院長王暉表示，將一個毛坯的廠房變成能讓企業(yè)入駐后直接使用的潔凈車間，是一個非常復(fù)雜的系統(tǒng)性工程。其中包括水電氣以及各種環(huán)評資質(zhì)，并非所有企業(yè)都具備建設(shè)半導(dǎo)體廠房的專業(yè)能力和充足資金。“我們把半導(dǎo)體發(fā)展所需要素都先準(zhǔn)備好，讓企業(yè)做到進(jìn)駐即生產(chǎn)，從客戶變成鄰居。”