溫度計能測溫度

體重秤能測體重

這背后發揮關鍵作用的就是

傳感器

傳感器就像是電子設備的“眼睛”和“耳朵”

能感知各種信息

比如溫度、壓力、光線等等

然后把這些信息變成電信號

讓設備“看懂”“聽懂”

“小物件”喚起“大能量”

今天就來聊聊

MEMS 壓力傳感器

“小巧玲瓏”的它

是傳感器家族里的一員

因為體積很小

可以集成在各種小小的設備里

專門負責測量壓力

而基于Cavity-SOI 原理的

壓阻式絕壓壓力傳感器

是MEMS壓力傳感器中的一種特殊類型

憑借獨特的技術原理和結構

它實現了更精準的絕對壓力測量

比如您給輪胎打氣時

想知道輪胎內部的壓力到底夠不夠

或在工廠要確保管道中的液體壓力處于安全范圍

就得靠它來幫忙測量壓力

它的工作原理是采用了一種巧妙的“壓阻式”方法

可以把它想象成一個很敏感的小彈簧

當有壓力作用在上面時

它就會被壓縮或拉伸

從而改變內部的電阻

而通過檢測這個電阻的變化

就能精確地知道壓力的大小

Cavity-SOI技術是通過在SOI晶圓上

制造一個封閉的空腔來實現絕壓測量

這就像是給這個傳感器加上了一層超級防護

讓它測量壓力的時候更精準、更穩定

就好比給運動員穿上了合腳的跑鞋

能輔助他們跑得更快、發揮更穩定

在日常中，還有哪些場景與它相關？

在汽車領域，它是引擎管理系統、制動系統和氣候控制系統的好幫手；在工業領域，它常用于液壓系統、氣動系統和過程控制系統，提供實時壓力數據，幫助控制系統及時調整和維護；在醫療方面，它被用于呼吸機、血壓監測儀和其他醫療設備；在消費電子領域，諸如智能手機、智能手表等產品中也有它的身影。

中國電科58所打造的150kPa和700kPa兩款MEMS壓阻式絕壓壓力傳感器，具有高精度、高可靠、低功耗、穩定性強、抗干擾能力強、尺寸微型化等突出特點。

其中，150kPa的傳感器常用于優化燃油噴射和點火時機，提升汽車的燃油效率和動力性能。在醫療領域，也能精準監測呼吸機中的氣道壓力，為患者的呼吸治療提供可靠保障。在智能手機中，其氣壓計功能可幫助實現海拔高度測量和準確的天氣預報。700kPa的傳感器是渦輪增壓引擎的得力伙伴，能夠精確測量引擎壓力，確保發動機在高負載下的安全運行。在醫療方面，對于像體外循環設備這類需要更高壓力監測的設備，它能夠提供精準數據，保障醫療操作的順利進行。