成立一年半,九峰山實驗室吸引了近30家半導體鏈條企業比鄰而居,總估值超百億元,培育半導體領域人才超3萬人,一批先進半導體技術的破局者在武漢涌現。
2023年3月,聚焦化合物半導體研發與創新的湖北九峰山實驗室正式投入運營。
運行一年來,九峰山實驗室實現了8寸中試線通線運行,首批晶圓(高精密光柵)成功下線,填補了國內高線密度、超高折射率、非周期性高精密光柵生產工藝空白。
全球首片8寸硅光薄膜鈮酸鋰光電集成晶圓也于今年3月成功下線,可實現超低損耗、超高帶寬的高端光芯片規模制造,為目前全球綜合性能最優的光電集成芯片。
除自身不斷創新突破外,作為國內為數不多的公共、開放、中立、共享的科研平臺,九峰山實驗室還與產業鏈各龍頭企業通力合作,以“用”為導向,布局開發共性技術,推進國產半導體材料、設備的驗證工作,打造化合物半導體中試平臺。
在九峰山實驗室,9000平方米的潔凈室內,有上百個項目在同時運轉,實驗室內隨處可見科研人員與產業鏈企業聯合研發的身影。
上海邦芯半導體科技有限公司研發的刻蝕、薄膜沉積設備,在九峰山實驗室的助推下,實現多款設備的量產。
武漢驛天諾科技有限公司與九峰山實驗室合作開發的硅光及三代半導體晶圓級、芯片級、器件級封測裝備,測試精度達到微米級。
華工科技研制的首套高端半導體晶圓激光切割系列裝備借助九峰山實驗室平臺通過了中試驗證,獲取測試報告的設備已成功導入下游企業。
九峰山實驗室有關負責人表示,我們希望與更多合作伙伴共同點亮化合物半導體平臺、技術、產業的“燈塔”,為未來3~10年的技術難題進行前沿探索和技術攻關,打通全產業鏈條中的“斷點”,拉平產學研融合發展的鴻溝,引領全球化合物半導體技術進步。
與九峰山實驗室一街之隔的九峰山科技園正火熱建設,將構建從設備、材料、設計到器件、封裝等的全產業鏈體系,形成創新活躍、要素齊全、開放協同的產業生態。
驛天諾科技有限公司董事長單娜表示,在九峰山實驗室平臺的引薦下,公司已經拓展了一批新客戶,獲得了一批訂單,下一步還會入駐九峰山科技園區,進一步擴大經營規模。
九峰山實驗室周邊已聚集了近30家化合物半導體龍頭企業和創新型中小企業,到2025年,這里將聚集產業鏈企業100家以上,培育1到2家細分領域龍頭企業,在存儲、化合物半導體、傳感器、先進封裝等細分領域打造一批創新產品,形成化合物半導體全產業生態。
在中國工程院院士、國家新材料產業發展專家咨詢委員會主任干勇看來,我國已形成化合物半導體全產業鏈,這將擺脫對高精度光刻機為代表的先進加工設備的依賴,有望在全球半導體產業格局中找到超車突破口。