MEMS孵化器已建成10萬平方米，形成穩定的45個單項工藝和17個產品工藝流程。國家高新區MEMS研究院成立了國內MEMS領域15名頂尖專家組成的專家委員會，負責高精度陀螺儀、MEMS繼電器和加速度計等器件研發，引領平臺的發展方向及工藝評審。去年9月份，清華大學、同方股份、淄博高新區三方達成戰略合作協議，研究院建設、平臺發展、基金設立、項目落地、產業園區建設等協議內容的各項工作正在快速推進。高新區將在現有加工設備條件和環境下，開展MEMS制造技術封裝與裝配過程中關鍵技術的研究和開發，真正解決其關鍵技術形成核心發明專利，為進一步的產業化奠定良好的知識產權基礎。
關鍵詞:MEMS傳感器產業化 中國制造2025 重大標志性項目 儀器儀表 瀏覽量：795
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