壓力傳感器對智能手機、平板電腦等電子觸摸產品來說是不可或缺的。但目前,大多數以硅信道以及硅氧化物為基礎的電介質晶體管存在不透明或不靈活的問題,因此,成為制造高整合壓力傳感器數組與透明壓力傳感器時的一大阻礙。
近日,來自韓國蔚山國家科學技術研究所(UNIST)的科研人員研發布了一種新型的傳感器數組,能夠同時測量小于10kPa的任何物體,例如輕敲至大于2MPa、人體的重量等,還能應用于3D觸控面板或慢跑鞋,大大提高了傳感器的壓力偵測范圍。這項研究結果發表在近期的《Nature Communications》上。
本研究中的傳感器采用高度導電且帶有空氣介電層的透明石墨烯,以及能夠在可折迭基板一側擷取空氣的彈性體。該傳感器數組能夠偵測導致氣隙介電質變形的滑動、輕觸與手指的壓力,提供一種測量壓力大小與位置的方法。再者,相較于被動矩陣類型,這種新型的數組所消耗的功率較少,反應時間也更快。
研究人員表示:“利用空氣作為產生場效晶體管(FET)的介電層,能夠因為石墨烯信道與空氣間的接口干凈,從而顯著提高晶體管的性能。此外,這種空氣介電層的厚度是由所施加的壓力而決定的,因此,透過這種技術,能夠更有效地偵測壓力的變化。”
UNIST的研究人員開發的這種新型的數組技術十分具有發展前景,因為它能根據偵測觸控動作產生電信號,并同顯示偵測對象的位置以及壓力的大小,而且還較傳統的壓力傳感器更具有透明度以及消耗較低功耗,這和目前針對圖形所用的觸控傳感器是不同的。