近日，由武漢大學牽頭的國家重大儀器研制項目（部門推薦）“薄膜生長缺陷跨時空尺度原位/實時監測與調控實驗裝置”通過了國家自然科學基金委員會的現場考察。該項目提出研制薄膜生長過程跨時空尺度原位/實時測量與調控實驗裝置。建立的實驗裝置將不僅有助于我國在薄膜生長領域走到世界領先，直接為中國高端裝置的提升帶來跨越式發展，同時大大促進物理、化學和生物等學科的發展。

據了解，薄膜生長代表先進制造重要發展方向，是芯片制造的基礎。中國缺“芯”，半導體裝備及芯片是中國的最大貿易赤字“大戶”。其物理化學過程跨越介觀到宏觀的空間尺度，飛秒到秒的時間尺度，缺陷機理留有許多空白。目前對于薄膜生長過程的測量多限于宏觀量，對微觀過程進行跨時空尺度測量追蹤還有巨大挑戰，從而缺乏對缺陷形成微觀機制有效分析和反饋調控。

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該項目依托武漢大學，由動力與機械學院院長、工業科學研究院執行院長劉勝教授牽頭，合作單位包括中科院半導體所、清華大學天津高端裝備研究院、中科院微電子所、華中科技大學和華南理工大學。

考察會上，竇賢康十分感謝國家自然科學基金委員會對武漢大學的大力支持，希望專家們能對項目多提寶貴意見，以幫助項目圓滿達到預期目標。他表示，學校會在人才隊伍建設、跨學科研究生培養、實驗室場地保障等各方面予以全力支持，以確保該項目順利實施。

劉勝代表項目組詳細介紹了項目的目標、工作基礎及條件、研制計劃等。項目組成員還接受了考察專家組的現場提問。在聽取匯報和現場考察后，考察專家組認為，該項目目標明確、內容合理、指標先進、技術路線可行。

系統的研制成功將實現對薄膜生長中缺陷的產生進行跨時空尺度的原位/實時測量，從而反饋調控以得到高品質的薄膜，將有力地促進我國在薄膜科學技術走向世界前列，可望在該領域取得一些原創性的成果。

國家重大科研儀器研制項目（原國家重大科研儀器設備研制專項項目），旨在面向科學前沿和國家需求，以科學目標為導向，鼓勵和培育具有原創性思想的探索性科研儀器研制，著力支持原創性重大科研儀器設備研制，為科學研究提供更新穎的手段和工具，以全面提升我國的原始創新能力。

據了解，項目于2011年設立，由國家自然科學基金委員會負責組織實施與管理，分為部門推薦項目和自由申請項目2類，部門推薦項目資助平均額度為8000萬元，自由申請項目平均資助額度為500萬元。