6月30日，由國家智能傳感器創新中心（簡稱“創新中心”）建設的國內首條12英寸先進傳感器中試線成功通線。該中試線以國產設備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學氣相沉積、原子層沉積、化學機械研磨、濕法清洗、自動化量測等先進傳感器和晶圓級3D集成技術的核心工藝能力，同時為國產裝備提供驗證平臺，加速先進傳感器產業鏈國產化，實現自主可控。

圖：12寸中試線的工藝設備

面向新興技術發展和市場應用需求，創新中心將在12英寸中試線持續開發新材料、新工藝、新器件和新集成等關鍵共性技術，重點突破光學、聲學、力學、生物等先進傳感器的核心工藝，并推動相關產品及應用的產業化。

12英寸中試線位于上海智能傳感器產業園內，產業園以智能傳感器為核心，以創新平臺和龍頭企業為支撐，伴有精準的政策助力，發展傳感器特色工藝，積極培育和引進領先的智能傳感器產業鏈領軍企業，促進產業集聚和協同發展，力爭將上海嘉定打造成國內傳感器領域產業高地。

國家智能傳感器創新中心致力于先進傳感器技術創新，以關鍵共性技術的研發和中試為目標，聯合中國傳感器與物聯網產業聯盟1000+ 家產業鏈各領域的代表企業開展共性技術研發，形成“產、學、研、用”協同創新機制，加速我國先進傳感器及其相關應用的核心技術發展，推動智能傳感、物聯網、人工智能的生態體系建設。