3月20日-22日，全球規模最大、規格最高的半導體業界盛會SEMICON China 2024在上海新國際博覽中心舉辦。作為中國尖端科學儀器裝備和真空技術的領先者，中科科儀聯合控股公司成都唯實、中科科美、蘇州科儀、科儀光電精彩亮相，展示多項電子光學和真空技術領域創新成果，與現場參會者探討半導體產業未來發展模式。

半導體產業不僅是信息技術產業的核心，更是支撐經濟社會發展的戰略性、基礎性和先導性的產業，從日常生活中的家用電器、數碼電子，到更為高端的通信、醫療、航空航天等領域，都扮演著舉足輕重的角色，隨著5G、物聯網、人工智能等新興技術的蓬勃發展，半導體產業更是迎來了前所未有的發展機遇，在這樣的背景下，SEMICON China 2024的盛大舉行，無疑為整個行業提供了一個展示與交流的重要平臺。

電子光學檢測儀器、真空獲得與檢測相關設備及核心零部件，是半導體器件高可靠性的重要保障。本次展會中科科儀重點展出了KYKY-EM8100型場發射槍掃描電子顯微鏡、CXF-320/3001CV型與CXF-100/301CS型磁懸浮分子泵、ZQJ-3300型與ZQJ-3900型E-13系列氦質譜檢漏儀、系列新型真空閥門以及真空系統整體解決方案，獲得現場專家學者和業界同仁的廣泛認可，眾多客戶前來交流互動，咨詢洽談。

掃描電子顯微鏡可應用于半導體產業鏈生產制造及應用的各個環節，能否清晰地觀測到生產工藝中缺陷的具體形貌和元素成分，成為解決工藝缺陷的關鍵因素。中科科儀在電子光學技術領域持續耕耘近60年，擁有雄厚的技術積淀和應用經驗，其中具有自主知識產權的國產高分辨場發射槍掃描電子顯微鏡KYKY-EM8100最佳分辨率優于0.9nm，達到國際先進水平，掃描電子顯微鏡在硬質電路板失效分析和檢測、陶瓷電容端頭檢測、半導體器件失效分析、微電子器件污染物鑒定、半導體器件線寬測量等方面有著廣泛應用，解決了我國半導體等高端裝備制造領域檢測設備依賴進口的“卡脖子”問題。

真空技術作為一門與應用科學緊密結合的現代基礎科學，在半導體行業有著廣泛的應用。磁懸浮分子泵是半導體裝備的核心零部件，應用于薄膜沉積、刻蝕、離子注入等關鍵工藝，提供超高真空環境，目前中科科儀的磁懸浮分子泵已通過多個設備廠商的工藝驗證，并批量應用。在真空檢漏方面，中科科儀推出E-13系列新型氦質譜檢漏儀，具備檢測精度高、檢漏壓強大、啟動時間短、響應速度快等性能特點，擁有臺式、車式、便攜式、模塊式等多種產品類型，便于客戶靈活自由選擇。系列新型真空閥門服務于晶體生長、離子束刻蝕、薄膜沉積等多個核心工藝，性能優異。此外，中科科儀的定制化真空系統整體解決方案，廣泛應用于半導體、航空航天、新能源、紅外與光電器件等領域。

全球半導體市場在人工智能、物聯網、5G通訊數字化和智能化的浪潮下不斷快速發展，對半導體檢測設備和集成電路裝備核心零部件的需求日益旺盛。未來，中科科儀將繼續聚焦半導體市場需求，持續攻關電子光學及真空領域關鍵技術，搶占科技制高點，推動科技成果轉化與規模產業化，攻克高端科學儀器裝備與核心零部件關鍵領域“卡脖子”“空心化”問題，助力打好科技儀器設備國產化攻堅戰！