（天津大學精密儀器與光電子工程學院）

建有精密測試技術及儀器國家重點實驗室、光電信息技術教育部重點實驗室、微光機電系統技術教育部重點實驗室、天津市生物醫學檢測技術與儀器重點實驗室、微納制造與測量技術教育部工程研究中心、天津市微納制造技術工程中心、天津市集成光電子技術與器件重點實驗室、天津市智能化精密測量技術工程中心、天津市智能人機交互康復工程技術中心、微米/納米科學與技術創新引智基地、光纖傳感與通訊引智基地等研究基地。

官網：

http://jyxy.tju.edu.cn/cn/

3、北京大學電子學系

主要研究方向：光纖傳感器、MEMS傳感器

主要研究院系：信息科學技術學院，微納電子學研究院

主要研究單位：微納電子學研究院、區域光纖通信網與新型光通信系統國家重點實驗室等

微納電子學研究院目前已發展成為我國最好的微納電子科技研究與教育基地之一，多種CMOS和硅基MEMS標準工藝滿足科研代工和人才培養需求，重復可靠的基礎工藝支持各類器件芯片研制，保證CMOS-MEMS集成化工藝研發。

區域光纖通信網與新型光通信系統國家重點實驗室重點研究光纖及光子傳感的基礎理論、器件原理及信號處理方法，圍繞地磁場探測、地殼應變探測等，深入開展光泵原子磁力儀、高精度光纖傳感、低成本高精度光纖陀螺、超高速光信號處理等方面的研究。

研究院下屬集成微納系統研究所(MEMS)，擁有完整的微米/納米加工工藝線，具備可同時開展MOS、硅基MEMS和集成化工藝技術研究的實驗環境，研究內容包括MEMS陀螺儀、加速度計、射頻器件、光學器件、柔性器件等一系列MEMS器件，以硅基MEMS為基礎，開發了SiC MEMS、 GaN MEMS、Ti MEMS、 Parylene MEMS等一系列加工技術。

主要研究團隊：

王陽元院士：北京大學信息科學技術學院教授(1985年)、微電子學研究院首席科學家，主要從事微電子學領域中新器件、新工藝和新結構電路的研究。

黃如院士：北京大學信息科學技術學院教授，主要從事半導體新器件及其應用研究。

吳文剛教授：主要研究MEMS光開關陣列等器件。

張海霞教授：主要研究深槽刻蝕微納加工、SiC MEMS及能源MEMS等技術。

金玉豐教授：主要從事微系統集成封裝、MEMS傳感器等方向的研究。

于曉梅教授：主要研究MEMS非制冷紅外成像技術及太赫茲探測技術等。

官網：https://ofcl.pku.edu.cn/

4、西安交通大學機械工程學院

主要研方向：壓力傳感器、加速度傳感器、MEMS傳感器

主要研究單位：精密工程研究所微型機械電子系統研究中心、陜西省微型機械電子系統（MEMS）研究中心、機械制造系統工程國家重點實驗室

建有“微納制造與納米測試技術”高等學校學科創新引智基地、“微納制造與測試技術”國際合作聯合實驗室、陜西省微型機械電子系統（MEMS）研究中心、陜西省微納傳感器工程技術研究中心。研究所研究方向包括：微納機械電子系統與微納米測試技術、微納制造與先進傳感技術、超精密加工技術與裝備、精密測量技術與儀器、生物制造與儀器等。

主要研究團隊：

蔣莊德院士：長期從事微納制造與先進傳感技術、精密超精密加工與測試技術及裝備等方面的研究。

趙玉龍教授：主要從事MEMS傳感器及微納制造理論和應用研究。

官網：

http://mec.xjtu.edu.cn/info/1006/6958.htm

5、東南大學電子與工程學院

主要研究方向：MEMS傳感器

主要研究單位：MEMS教育部重點實驗室