編者按：黨的二十大報告強調：“堅持面向世界科技前沿、面向經濟主戰場、面向國家重大需求、面向人民生命健康，加快實現高水平科技自立自強。”為展現中國電科支撐強國強軍事業的不懈追求，特聯合中央主流媒體開設“電科觀點”專欄，立足“三大定位”，聚焦“四大板塊”，邀請院士、總師召集人、行業專家等，科普行業知識，展現創新進展，展示電科實力。

本期光明日報、中國日報采訪了中國電科首席科學家王志越。

在無處不在、無所不能的電子設備里，最關鍵部分就是集成電路，它與生活密不可分，又顯得遙遠而神秘。一片芯片的誕生，就是在指甲蓋大小的方寸之間，排布上億根晶體管和數公里長的導線，這個過程需要經過設計、制造、封裝、測試等環節，由此構成了一條完整集成電路產業鏈。

過去三十年，集成電路技術驅動了整個電子信息產業的發展，以集成電路為核心的電子信息產業已經超過了以汽車、石油、鋼鐵為代表的傳統工業，成為世界第一大產業。未來二十年，集成電路技術繼續向納米演進，仍是信息技術發展的關鍵。為全力打贏關鍵核心技術攻堅戰，中國電科聚焦離子注入機、CMP等集成電路核心裝備奮力攻關，聚力打造集成電路裝備原創技術策源地和現代產業鏈鏈長。

如今，我國集成電路領域的發展情況如何？中國電科科研團隊做出了哪些努力？集成電路應該采取怎樣的發展路徑？近日，記者采訪了中國電科首席科學家王志越，請他為我們打開一個探究集成電路奧秘的窗口。

記者：眾所周知，芯片被稱為現代社會的“工業糧食”，一個小小的芯片，緣何如此神奇？作為集成電路領域的專家您能否結合您的研究方向簡單給我們介紹一下？

中國電科首席科學家王志越：在我們生活中，從電視機遙控器，到手機、電視機等，只要是自動化電子設備，都要用到芯片。未來，人工智能、智能汽車、物聯網這些美好生活場景，也離不開芯片。要把一粒粒隨處可見的砂子，變成手機、電腦里中算力高超的芯片，依靠的就是以光刻機、離子注入機、化學機械拋光（CMP）、薄膜沉積、刻蝕、清洗等為代表的高端電子制造裝備。

制造一個指甲蓋大小的芯片，難度好比在相當于頭發絲直徑萬分之一的地基上建起高樓大廈，這項技術十分精細，難度極高。整個制造過程，往往需要經過上千個工藝步驟，每個工藝步驟都要依賴特定的電子制造裝備的加工處理。因此，集成電路制造裝備是產業發展的基礎，集人類超精細加工技術之大成，代表著當今世界微細制造的最高水平，是一個國家高端制造能力的綜合體現，更是全球高科技國力競爭的戰略必爭制高點。

記者：中國電科在集成電路領域核心裝備研制方面做了哪些努力?

中國電科首席科學家王志越：一直以來，中國電科以國家戰略需求和產業升級需要為導向，持續發力集成電路高端電子制造核心裝備自主創新，成立中電科集成電路裝備核心技術發展研究中心，聚力突破集成電路裝備自主創新的堵點卡點。

中國電科首席科學家王志越：聚焦離子注入機設備，實現了中束流、大束流、高能、特種等系列產品自主創新發展，工藝節點覆蓋14nm，累計銷售超100臺，實現全系列產品國產化，全力支撐集成電路裝備產業基礎高級化。聚焦化學機械拋光（CMP）設備，200mm CMP國內市場占有率達到70%以上，300mm CMP設備已通過主流產線工藝驗證，關鍵指標達到28nm工藝技術要求，自主供給能力穩步提高。

記者：我們知道攻克關鍵技術很難，取得剛剛所說的這些成果肯定來之不易。在集智攻關過程中，讓您印象最深刻的是什么，能和我們分享一下您的感悟嗎？

中國電科首席科學家王志越：“發展國產裝備、鑄就國芯基石”，這個橫幅在我們科研場所、生產車間隨處可見。我認為這不僅為科研工作者指明了奮斗方向，也體現了集團公司的使命擔當。