河南日報記者 李宗寬 河南日報社全媒體記者 范坤鵬
7月11日,在位于洛陽高新區的洛陽單晶硅集團控股子公司麥斯克電子材料股份有限公司(以下簡稱麥斯克電子)超凈車間里,單晶硅棒經過切割、倒角、化學清洗以及拋光,一片片光滑如鏡的銀灰色硅拋光片被送到自動化設備上接受質量檢測。
“今年上半年,我們克服不利因素,全力以赴拼經濟,企業運行平穩有序。”洛陽單晶硅集團總經理兼麥斯克電子董事長史建強告訴記者,“我們的8英寸硅拋光片不僅替代進口,還逐步走向了國際市場。”作為中部地區首家具備規模化生產IC級8英寸硅拋光片能力的高新技術企業,麥斯克電子已具備100萬片年產能,產品銷往美國、韓國、新加坡、日本、印度等國家。
硅拋光片是芯片等產品的上游原材料,然而,在大直徑半導體硅片領域,我國對于進口的依賴程度依舊較高。“尺寸越大,可制造的芯片數量就越多,相應成本就越低。”史建強介紹,麥斯克電子的拳頭產品為4至8英寸硅拋光片,盡管每次迭代產品只有2英寸的差別,但是每次提升工藝控制的難度都成倍地增加,在研發和生產的每個環節,都要精益求精。
領跑的背后是科研的強力支撐。麥斯克電子是國務院國資委科改示范企業和國家級專精特新“小巨人”企業,公司建有企業技術中心、大尺寸硅拋光片工程技術研究中心及先進硅基低阻值電子材料工程研究中心等三個省級研發平臺,致力于半導體硅片加工技術的研究和半導體硅材料產業自主水平的提升。麥斯克電子“工業互聯網平臺賦能硅基底材料全生命周期質量管控解決方案”入選工信部發布的“工業互聯網平臺+質量管理試點示范”名單。通過持續探索大規模集成電路硅拋光片智能化制造的新路徑,麥斯克電子以數字化助力“中國芯”加速崛起。
目前,麥斯克電子與國內知名設備廠商聯合,在國內首創完成了半導體硅片用金剛線設備和切割工藝的開發。麥斯克電子還與國內產業鏈上下游建立了穩固的合作關系,積極推進設備與原材料國產化進程;在原材料方面,與省內多家知名企業密切合作,帶動產業鏈上下游共同發展。
“我們正在積極向半導體硅片領域進行縱深布局,將充分利用技術積淀優勢,整合和優化現有產業鏈,提升企業價值和競爭力,為河南省加速搶灘半導體產業、實施換道領跑戰略作出國資國企貢獻。”史建強表示。