突破‘卡脖子’技術，淄博智造再添新成果！近期，宇鴻敏芯（山東）電子科技有限公司自主研發的濺射金屬基高精納米膜芯體實現量產，填補國內高端傳感器領域空白。這家成立僅一年的企業如何攻克技術難關？國產傳感器如何逆勢突圍？

記者走進宇鴻敏芯（山東）電子科技有限公司的展廳，可以看到一枚直徑不足1厘米的精密器件，正是企業打破國外壟斷的“秘密武器”——濺射金屬基高精納米膜芯體。別看它體積小巧，卻是壓力傳感器的“心臟”，可以產品提高產品在高溫、高壓、灰塵、潮濕等惡劣環境下的長期穩定性和可靠性。宇鴻敏芯自主研發的濺射金屬基高精納米膜芯體，采用國際領先的MEMS加工工藝，將納米薄膜應變電阻直接集成于金屬彈性體表面，實現敏感元件與彈性體的原子級結合。這項技術使國產傳感器首次作為自創產品在石油勘探、航空航天等高端領域達到國際標準。

宇鴻敏芯（山東）電子科技有限公司總工程師崔雪巖表示，公司自主研發的濺射薄膜壓力傳感器芯體不僅僅實現了國內“零”的突破，而且相關參數在國際相關企業產品中也是遙遙領先，其最高測量量程達到了380兆帕，相對于傳統壓力傳感器60兆帕的測量量程，達到了一個幾倍的遞增，年漂移精度僅僅只有千分之一，相對于其它壓力傳感器，年漂移精度達到千分之三、或者千分之五的精度，性能技術參數是遙遙領先。該產品的測試數據顯示：-50℃極寒到300℃炙烤，精度波動小于0.1%；承受3800倍大氣壓沖擊后，信號輸出依然穩定。正是這些指標，讓國產傳感器順利進入衛星推進器供應商名錄。

宇鴻敏芯（山東）電子科技有限公司研發部主任羅靜怡表示，之所以能夠達到這樣的技術指標，是因為企業在科技研發方面不斷地投入。比如設備方面，成功參與研發并改進了全自動步進式紫外光刻機、全自動噴膠機等儀器，并聯合高校共建聯合實驗室，強化技術轉化能力。在人才團隊建設上，目前擁有的研發團隊碩士占比達50%，并聘請了多位半導體領域的國家級專家擔任技術顧問，通過產學研合作持續突破技術瓶頸，加強自身在濺射薄膜工藝領域的競爭力。

目前，宇鴻敏芯已擁有千、百級凈化車間與多條產線，具備30萬枚芯(片)體、10萬支壓力傳感器年產能力。研發及工藝設備近200臺套，具備較完備的設計研發力學傳感器技術平臺，助力技術創新與產品升級。同時，宇鴻敏芯已擁有自主知識產權二十余項，為企業的持續發展提供了強大的技術支撐和競爭優勢。下一步，宇鴻敏芯將逐步實現技術研發成果轉換，達成年產100萬支芯體，30萬支傳感器的產能規劃，向汽車電子、醫療電子、通訊電子領域的拓展布局。同時，依托國內國際雙循環戰略，企業正推動"中國技術+中國標準"深度參與全球競爭，通過主導國際標準制定、建設海外聯合創新中心，讓"中國創造"從價值鏈參與者蛻變為規則制定者。

企業是科技創新的主體，也是推動高質量發展的生力軍，而企業的集聚效應，又成為反向推動企業個體創新發展的助推器。選擇入駐“中國MEMS傳感器十大園區”之一的齊魯智能微系統創新產業基地，宇鴻敏芯看中的正是園區“一公里生態圈”的聚變效應。在這里，從特種合金材料到微米加工，從封裝測試到智能校準，數十家上下游企業環環相扣，讓宇鴻敏芯有了更大的發展空間。

宇鴻敏芯（山東）電子科技有限公司生產部經理許凱表示，園區具有較為完善的MEMS產業鏈、儀器儀表產業鏈的上下游配置。園區內的精密機加配套讓企業產品在結構改良升級方面可以快速反應；與MEMS研究院、山東理工大學等合作，提高了企業產品的技術更新迭代速度；相對完善的供應鏈配套讓生產研發的成本更低、速度更快，讓產品更加具有市場競爭力。

據悉，齊魯智能微系統創新產業基地以MEMS、光電子、智能機器人為主導產業，聚有重點企業100余家，其中高新技術企業42家，智洋創新科創板上市，亞華電子創業板上市、新恒匯電子創業板過會，信通電子主板過會，齊芯微、瑞邦智能裝備、深川變頻等上市后備企業6家，國家級專精特新“小巨人”企業8家，省級“專精特新”中小企業30家，省瞪羚企業10家。擁有國產自主可控的光纖水聽器、國內首款86寸金屬網格銅柔性觸控屏等打破國際壟斷和國際先進項目的高端產業項目32個，2021年和2022年連續被省工信廳評為“省級數字經濟園區”，2023年入選“中國MEMS傳感器十大園區”，并被省科技廳評為“省級科技企業加速器”，2024年入選省工信廳認定的“山東省首批數字產業集群”，淄博高新區智能微系統加速器在2024年度省級科技企業孵化載體績效評價中獲評優秀。