因此，MEMS傳感器專項可選擇一些用戶關聯度高、市場規模大和存在供應鏈風險的產品，如汽車傳感器、儀器儀表傳感器和量大面廣的消費傳感器等，扶植有優勢的MEMS傳感器企業進行產品研發，在MEMS傳感器量產線實現量產，提高國產傳感器的市場占有率，做大做強本土MEMS傳感器企業。
完善我國MEMS傳感器產業鏈
MEMS傳感器的產業鏈包括用戶、產品公司和制造體系。由于MEMS傳感器的個性化特點，其產品開發必須與用戶密切結合，用戶是其產業鏈中的一個重要環節；產品公司根據用戶需求，進行MEMS傳感器產品開發；由于MEMS傳感器的制造涉及芯片加工，工藝線投入大，一般產品公司可通過共享來完成。這三個環節密切聯系在一起，產品公司可實現MEMS傳感器的大規模銷售。
因此，通過MEMS傳感器專項的實施，可將我國MEMS傳感器的大用戶、有優勢的MEMS傳感器產品公司和研發量產線組織在一起，針對大用戶的產品需求，進行相應的產品研發和應用驗證，并在集成電路產線進行二次工藝開發，實現傳感器大規模量產，打造出我國MEMS傳感器產業鏈，提升國產傳感器的市場占有率，解決傳感器芯片受制于人的問題。
MEMS傳感器的產業化離不開集成電路企業的參與，2010年我國有集成電路企業開始參與MEMS制造。產業鏈上下游開展產學研用合作，進行了打造MEMS傳感器產業鏈的初步嘗試，建立了用戶、產品公司和量產線的有機聯系，取得了好的效果。
