近日,科技部發(fā)布了《科技部關(guān)于發(fā)布國家重點研發(fā)計劃“高性能制造技術(shù)與重大裝備”等6個重點專項2023年度項目申報指南的通知》。其中,“智能傳感器”重點專項圍繞智能傳感基礎(chǔ)及前沿技術(shù)、傳感器敏感元件關(guān)鍵技術(shù)、譜系化智能傳感器及系統(tǒng)應(yīng)用、傳感器研發(fā)支撐平臺等4個方向進行布局,涵蓋共性關(guān)鍵技術(shù)19項、應(yīng)用示范5項、基礎(chǔ)研究11項。
清單如下:
1 智能傳感基礎(chǔ)及前沿技術(shù)
1.1 太赫茲源—測集成技術(shù)及傳感器(基礎(chǔ)研究類)
1.2 微機電雙諧振差頻傳感機理及溫度傳感器(基礎(chǔ)研究類)
1.3 仿神經(jīng)丘感算一體技術(shù)及微壓流場傳感陣列(基礎(chǔ)研究類)
1.4 摩擦電調(diào)控場效應(yīng)作用機理及觸覺傳感技術(shù)研究(基礎(chǔ)研究類)
1.5 框架核酸的分子識別機理及生物傳感器研究(基礎(chǔ)研究類)
1.6 熒光納米復(fù)合材料傳感機理及生物傳感器研究(基礎(chǔ)研究類)
1.7 柔性壓電復(fù)合材料力電耦合調(diào)控方法及結(jié)構(gòu)共形器件(基礎(chǔ)研究類)
1.8 敏感材料組分有序調(diào)控工藝及跨尺度共體傳感器(基礎(chǔ)研究類)
1.9 晶圓級碳化硅微納加工工藝及傳感器研制(基礎(chǔ)研究類)
1.10 微納傳感器激光加工新工藝研究(基礎(chǔ)研究類,青年科學(xué)家項目)
1.11 超低功耗微納傳感器敏感元件技術(shù)研究(基礎(chǔ)研究類,青年科學(xué)家項目)
2 傳感器敏感元件關(guān)鍵技術(shù)
2.1 汽車安全氣囊系統(tǒng)雙軸加速度敏感元件及傳感器(共性關(guān)鍵技術(shù)類)
2.2 高靜壓下差壓測量敏感元件及多參數(shù)檢測傳感器(共性關(guān)鍵技術(shù)類)
2.3 高溫高頻響硅基壓力敏感元件及傳感器(共性關(guān)鍵技術(shù)類)
2.4 浸入式微型液體壓力敏感元件及傳感器(共性關(guān)鍵技術(shù)類)
2.5 微量程流量敏感元件及傳感器(共性關(guān)鍵技術(shù)類)
2.6 絕對式位移精密測量敏感元件及傳感器(共性關(guān)鍵技術(shù)類)
2.7 寬溫區(qū)MEMS 光纖多物理量敏感元件及傳感器(共性關(guān)鍵技術(shù)類)
2.8 非接觸溫度場敏感元件及智能傳感器(共性關(guān)鍵技術(shù)類)
2.9 高精度高分辨光場圖像敏感元件及智能傳感器(共性關(guān)鍵技術(shù)類)
2.10 4D 成像毫米波雷達傳感器(共性關(guān)鍵技術(shù)類)
2.11 寬溫域高精度量子電流敏感元件及傳感器(共性關(guān)鍵技術(shù)類)
2.12 快響應(yīng)自給能中子敏感元件及復(fù)合傳感器(共性關(guān)鍵技術(shù)類)
2.13 界面穩(wěn)定電化學(xué)氣體敏感元件及智能傳感器(共性關(guān)鍵技術(shù)類)
2.14 超快響應(yīng)濕度敏感元件及傳感器(共性關(guān)鍵技術(shù)類)
2.15 疾病標志物單分子免疫敏感元件及分析儀器(共性關(guān)鍵技術(shù)類)
2.16 生物分子超高通量篩查微陣列芯片及快速檢測傳感器(共性關(guān)鍵技術(shù)類)
2.17 MEMS 敏感元件設(shè)計與產(chǎn)品開發(fā)(共性關(guān)鍵技術(shù)類,科技型中小企業(yè)項目)
3 譜系化智能傳感器及系統(tǒng)應(yīng)用
3.1 大型模鍛壓機運行狀態(tài)監(jiān)測傳感器及系統(tǒng)應(yīng)用(應(yīng)用示范類)
3.2 紗線生產(chǎn)關(guān)鍵工序質(zhì)量在線檢測傳感器及系統(tǒng)應(yīng)用(應(yīng)用示范類,定向擇優(yōu))
3.3 儲糧品質(zhì)高精度檢測傳感器及國家儲備糧庫應(yīng)用(應(yīng)用示范類,定向擇優(yōu))
3.4 煤炭采掘過程監(jiān)測傳感器及采煤作業(yè)安全預(yù)警應(yīng)用(應(yīng)用示范類)
3.5 列車前向運行環(huán)境監(jiān)測傳感器及系統(tǒng)應(yīng)用(應(yīng)用示范類)
4 傳感器研發(fā)支撐平臺
4.1 多尺寸兼容的多材料體系MEMS 研發(fā)平臺(共性關(guān)鍵技術(shù)類)
4.2 8 英寸硅基壓電薄膜及壓電MEMS 傳感器制造工藝平臺(共性關(guān)鍵技術(shù)類)
項目申報單位網(wǎng)上填報預(yù)申報書的受理時間為:2023年6月20日8:00至7月24日16:00。