鼓勵智能傳感器相關企業與高校、科研院圍繞智能傳感器產業，以委托研發、聯合攻關等形式緊密開展產學研合作的，對關鍵核心技術等方面取得重大突破的，經認定給予最高100萬元的一次性獎勵。

鼓勵智能傳感器相關企業因開展高端芯片、先進或特色工藝研發需購買知識產權的，按其購買費用的50%的給予扶持，單個企業每年扶持總額不超過300萬元。

支持集成電路及MEMS設計企業研發，給予工程產品首輪流片50%的扶持，單個企業每年扶持總額不超過200萬元。

對開展工程樣片的功能、性能、可靠性、兼容性、失效分析等方面的測試驗證及相關認證的智能傳感器相關企業，按測試認證的實際發生費用的50%給予扶持，單個企業每年扶持總額不超過200萬元。

支持企業規模發展：

支持智能傳感器相關企業通過開展兼并收購等活動，重組、整合上下游產業鏈，區相關產業投資基金可共同參與或提供資金支持。

對成功并購國內外智能傳感器領域上下游產業鏈的相關企業或研發機構給予并購金額10%，最高1000萬元的獎勵。

對智能傳感器相關企業年度營業收入首次突破1億元、5億元、10億元、20億元、50億元的企業，視其貢獻分別給予核心團隊50萬元、100萬元、150萬元、200萬元、500萬元一次性獎勵，每上一個臺階獎勵一次、實施晉檔補差。

對主導制訂國際、國家、行業、團體標準的智能傳感器相關企業或機構，分別給予100萬元、50萬元、20萬元和10萬元的一次性獎勵。

與此同時，嘉定區還提出智能傳感器相關企業引進的產業緊缺人才和專業人才可優先享受嘉定區“雙高”人才計劃等各類人才聚集政策，以及鼓勵建立智能傳感器相關企業發展所需的公共服務平臺，對平臺建設、示范推廣給予支持，按項目投資最高不超過30%給予扶持，單個企業扶持總額不超過500萬元等加強合作政策。

據稱，已有32家企業簽約入駐智能傳感器產業園，總投資額達248億元。項目遍及傳感器芯片設計、制造、材料、系統、應用、封裝、測試等產業鏈諸環節。其中，中電科13所MEMS項目、華進半導體等17個項目投資過億。

上述這些優質項目的集中入駐，夯實了嘉定作為上海先進制造業基地之上海市集成電路產業“一體兩翼”重要組成部分的基礎，成為拉動嘉定區域經濟發展的強大引擎。